你知道湿电子化学品为什么要分级吗？

        湿电子化学品（Wet Chemicals）从分类上属于精细化工的细分行业，是电子湿法工艺中使用的各种电子化工材料，主要应用于泛半导体领域（晶圆、显示面板、太阳能电池），制造加工过程中的清洗、刻蚀等湿法工艺制程。

        而在晶圆、显示面板、太阳能电池片制造环节，由于硅片表面的洁净度对性能、良率、显示高清度至关重要，因此制造工艺都会有清洗环节。湿化学品的作用就是在清洗过程中，利用化学制剂的腐蚀性、可溶性等特性，达到清除晶圆等表面残留的有机污染物，降低金属杂质残留量的目的。

        故而湿电子化学品的金属杂质含量越低、颗粒度越小，越是可以应用于更为先进的晶圆制程工艺。所以湿电子化学品的核心指标就是“纯净度”，为了给湿电子化学品按照纯净度进行划分，我们会使用到SEMI标准和国标对湿电子化学品进行分级。

        SEMI标准是由国际半导体设备与材料产业协会(Semiconductor Equipment and Materials International)制定，其将湿电子化学品分为G1-G5五个等级。G1等级湿电子化学品适用制程为＞1.2μm、金属杂质≤1000μg/L、颗粒度≤1.0μm；而G5等级湿电子化学品适用制程＜0.09μm、金属杂质≤0.01μg/L、颗粒度更小。

        目前太阳能电池领域仅需要达到G1等级，代表性的公司如亿纬锂能、宁德时代、欣旺达和德赛电池；显示面板领域一般要求达到G2、G3等级，代表性的公司如TCL、京东方、三星和LG；集成电路领域，8英寸及以下晶圆要求达到G3、G4水平，12英寸晶圆需要达到G5等级，代表性的公司如华虹半导体、中芯国际、台积电、华润微。

        国际上制备G1到G5级湿电子化学品的技术已经趋于成熟，国内大部分企业已经达到国际G3标准，并已开展G4标准的研发工作。一些技术领先的湿电子化学品企业，如江化微公司，目前技术水平已达到SEMI标准等级的高端行列，硝酸纯度、氢氟酸、氨水、金属刻蚀液等均已完成行业顶级（G4级和G5级）品类中试，量产在即。

        湿电子化学品储罐、运输罐和包装容器等设备的材质首先必须耐腐蚀，其次不能有颗粒的溶出，再有就是不能出现金属杂质的溶出现象，这样才能确保容器在使用点上不构成对工艺化学品质量的沾污。

        早期低级别的湿电子化学品一般采用的是以玻璃为材质的包装容器，但由于玻璃瓶易碎，另外随着时间的延长还会造成Na、Ca等金属杂质的溶出而带来二次污染，因此玻璃瓶已经逐步被淘汰。目前广为使用的材料是四氟乙烯和氟烷基乙烯基醚共聚物(PFA)和聚四氟乙烯(PTFE)等。

        上海富晨提供的PFA和PTFE材料内衬对多数湿电子化学品的稳定性较好，而且易于加工，并且具有适当的强度，因而它是湿电子化学品包装容器的理想材料，尤其适用于周期较长的管线、贮罐、周转罐等。